真空爐冷卻器是真空爐的重要部分，冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。這是設備工作時常被忽視的問題，當無人管理時可能會導致設備的重大毀壞。

       用生物分解化學輔助方法處理冷卻水，目的是保持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積，以使水流暢通。這一般采用一種自動裝置來完成，它可以監測水的導電性，自動補充化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。與附屬蒸氣過濾系統配合，這種方法還可以保障水的pH 值控制，避免在冷卻水系統中多余礦物質沉積。在真空爐冷卻器系統工作穩定后，至少應每月進行水質試驗以免過處理或欠過理。 

       真空回火爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應放在水路系統中，每年做重量損失檢驗以檢查處理的效果。對擴散泵的蛇形管冷卻器需要注意，應該經常檢查。如果堵塞了，擴散泵將會過熱并喪失功能，而且還進一步引起擴散泵加熱器燒毀，造成昂貴的、費時的修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通。

       因此需要對真空爐冷卻器進行定期檢查。